Instrumen deteksi yang umum digunakan untuk menganalisis komposisibahan nanotermasuk:
1. ICP (Plasma Gabungan Induktif): ICP adalah teknologi yang banyak digunakan dalam bidang kimia analitik dan ilmu material. Dapat digunakan untuk menentukan kandungan dan komposisi unsur dalam bahan nano. Dengan mengubah sampel menjadi ion gas dan menggunakan spektrum plasma yang dihasilkan untuk menentukan konsentrasi unsur. ICP-MS (Induktif Coupled Plasma Mass Spectrometer) menggabungkan teknik ICP dan spektrometri massa untuk menganalisis konsentrasi unsur yang sangat rendah dalam bahan nano.
2. XRF (Fluoroskopi Sinar-X): XRF adalah teknologi yang banyak digunakan untuk analisis material dan pengujian non-destruktif. Ini menentukan komposisi unsur dengan menyinari permukaan atau bagian dalam sampel dengan sinar-X dan mengukur radiasi fluoresensi karakteristik unsur dalam sampel. XRF cocok untuk berbagai bahan nano, termasuk sampel padat, cair, dan bubuk.
3. EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrcopy): EDS adalah teknik mikroskop elektron yang menentukan komposisi unsur-unsur dalam suatu sampel dengan cara mengukur sinar-X yang dihasilkan oleh interaksi antara berkas elektron dan sampel dalam suatu bahan. EDS sering digunakan bersama dengan pemindaian mikroskop elektron (SEM) untuk memberikan analisis komposisi permukaan bahan nano.
